捷太格特（JTEKT）成功開發(fā)能提高半導(dǎo)體制造生產(chǎn)效率的特殊環(huán)境用軸承<EXSEV>
來(lái)源： 發(fā)布日期：2021-12-03 13:21
捷太格特 (JTEKT) 一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)在嚴(yán)酷環(huán)境下使用的特殊環(huán)境用軸承系列<EXSEV®>庞炕。
此次，捷太格特為解決半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護(hù)修理复答、軸承單元化的推進(jìn)等半導(dǎo)體制造相關(guān)的客戶難題推出了此項(xiàng)提案彰饭。
※EXSEV®是為了對(duì)應(yīng)諸多環(huán)境和用途圣界，使用了與通常不同的軸承材料和潤(rùn)滑劑的軸承系列，是捷太格特的注冊(cè)商標(biāo)。
背景和概述
近年來(lái)鸠澈，由于智能手機(jī)性能的提升、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)和人工智能的發(fā)展以及自動(dòng)駕駛的普及退博，半導(dǎo)體的需求也在迅速擴(kuò)大颖助。捷太格特收集了半導(dǎo)體制造設(shè)備用戶的意見(jiàn)，把握軸承相關(guān)客戶的困擾，除了銷售產(chǎn)品戏筹，捷太格特還會(huì)為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和提高生產(chǎn)效率凯怕，將服務(wù)擴(kuò)展到半導(dǎo)體制造設(shè)備的維修市場(chǎng)。
另外缓万，捷太格特將軸承從單品銷售到作為包含周邊部件的單元來(lái)使用甩楷，對(duì)簡(jiǎn)化維護(hù)工作和延長(zhǎng)維護(hù)周期做出了貢獻(xiàn)。
半導(dǎo)體制造過(guò)程中的軸承使用環(huán)境
捷太格特開發(fā)了適用于在真空·凈化·高溫·腐蝕等惡劣環(huán)境下加工的特殊環(huán)境用軸承蔫狰，目前已具備了滿足客戶需求的產(chǎn)品陣容催锯。
*注：適用商品例 (1) 到 (4) 請(qǐng)參照以下的商品群
EXSEV系列主要產(chǎn)品陣容
① EXSEV ®-EX (真空·凈化用含氟類潤(rùn)滑脂的軸承以及潤(rùn)滑脂)
在制造半導(dǎo)體的真空·凈化的環(huán)境下，需要在低蒸汽壓力下化學(xué)反應(yīng)穩(wěn)定的氟潤(rùn)滑脂钠台。捷太格特的產(chǎn)品有對(duì)環(huán)境負(fù)荷較小且不含全氟辛酸 (PFOA)的氟潤(rùn)滑脂欠诊，以及封入該氟潤(rùn)滑脂的低發(fā)塵軸承EXSEV ®-EX。
與現(xiàn)行品相比辟劲，它進(jìn)一步降低了塵量臣疑，具備優(yōu)異性能的同時(shí)符合環(huán)境法規(guī)，為減輕半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)環(huán)境的負(fù)荷做出了廣泛貢獻(xiàn)徙菠。
※圖1 本公司對(duì)比
② NEW Clean Pro ®-PR (真空·凈化用特殊氟固體潤(rùn)滑被膜軸承)
在高度凈化環(huán)境中讯沈，使用涂有特殊氟高分子膜的新凈化軸承。與現(xiàn)行品相比婿奔，釋放氣體相同缺狠、發(fā)塵量降低一半以上、發(fā)塵壽命※2 (圖2) 為10倍以上萍摊，實(shí)現(xiàn)了軸承性能的大幅度提高挤茄，對(duì)提高制造裝置可靠性以及運(yùn)行成本的降低做出了貢獻(xiàn)。
※2發(fā)塵壽命：一定時(shí)間內(nèi)的發(fā)塵量超過(guò)清潔等級(jí)10 (ISO等級(jí)4) 為止的時(shí)間
參考URL:https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/
※NEW Clean Pro ®是株式會(huì)社捷太格特的注冊(cè)商標(biāo)冰木。
③ EXSEV ®-XT (高溫用含氟潤(rùn)滑脂的軸承)
加入了能在350°C高溫環(huán)境下使用的潤(rùn)滑脂的耐熱軸承穷劈。在300°C的溫度里，捷太格特實(shí)現(xiàn)了比現(xiàn)行高溫用固體潤(rùn)滑軸承高達(dá)6倍以上的軸承壽命(圖3) 踊沸。通過(guò)在高溫下延長(zhǎng)使用壽命歇终，對(duì)降低設(shè)備的維護(hù)成本做出了貢獻(xiàn)。
④ 耐腐蝕陶瓷軸承
在某些制造工序中逼龟，存在即使是不銹鋼也無(wú)法應(yīng)對(duì)的腐蝕性極強(qiáng)的環(huán)境评凝。而在軌道輪和滾珠上使用陶瓷材料的耐腐蝕陶瓷軸承可以對(duì)應(yīng)此種環(huán)境。捷太格特通過(guò)提供各種陶瓷軸承產(chǎn)品陣容以應(yīng)對(duì)多種腐蝕環(huán)境秦代，為提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率做出貢獻(xiàn)潦号。
*EXSEV ®軸承系列其他產(chǎn)品介紹
https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/
捷太格特的軸承事業(yè)品牌“Koyo”，以“Key of your operation”為理念蚯景，作為與客戶共同解決問(wèn)題昭怕、把喜悅提供給客戶的合作伙伴袱族，將為客戶提供適應(yīng)多種環(huán)境的軸承、為所有產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展做出貢獻(xiàn)裙都。
*此產(chǎn)品暫未在中國(guó)地區(qū)發(fā)售。
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此次，捷太格特為解決半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護(hù)修理复答、軸承單元化的推進(jìn)等半導(dǎo)體制造相關(guān)的客戶難題推出了此項(xiàng)提案彰饭。
※EXSEV®是為了對(duì)應(yīng)諸多環(huán)境和用途圣界，使用了與通常不同的軸承材料和潤(rùn)滑劑的軸承系列，是捷太格特的注冊(cè)商標(biāo)。
背景和概述
近年來(lái)鸠澈，由于智能手機(jī)性能的提升、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)和人工智能的發(fā)展以及自動(dòng)駕駛的普及退博，半導(dǎo)體的需求也在迅速擴(kuò)大颖助。捷太格特收集了半導(dǎo)體制造設(shè)備用戶的意見(jiàn)，把握軸承相關(guān)客戶的困擾，除了銷售產(chǎn)品戏筹，捷太格特還會(huì)為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和提高生產(chǎn)效率凯怕，將服務(wù)擴(kuò)展到半導(dǎo)體制造設(shè)備的維修市場(chǎng)。
另外缓万，捷太格特將軸承從單品銷售到作為包含周邊部件的單元來(lái)使用甩楷，對(duì)簡(jiǎn)化維護(hù)工作和延長(zhǎng)維護(hù)周期做出了貢獻(xiàn)。
半導(dǎo)體制造過(guò)程中的軸承使用環(huán)境
捷太格特開發(fā)了適用于在真空·凈化·高溫·腐蝕等惡劣環(huán)境下加工的特殊環(huán)境用軸承蔫狰，目前已具備了滿足客戶需求的產(chǎn)品陣容催锯。
【表1半導(dǎo)體制造工序和主要軸承使用環(huán)境】
*注：適用商品例 (1) 到 (4) 請(qǐng)參照以下的商品群
EXSEV系列主要產(chǎn)品陣容
① EXSEV ®-EX (真空·凈化用含氟類潤(rùn)滑脂的軸承以及潤(rùn)滑脂)
【EXSEV ®-EX】 【EXSEV ®-EX (潤(rùn)滑脂) 】
在制造半導(dǎo)體的真空·凈化的環(huán)境下，需要在低蒸汽壓力下化學(xué)反應(yīng)穩(wěn)定的氟潤(rùn)滑脂钠台。捷太格特的產(chǎn)品有對(duì)環(huán)境負(fù)荷較小且不含全氟辛酸 (PFOA)的氟潤(rùn)滑脂欠诊，以及封入該氟潤(rùn)滑脂的低發(fā)塵軸承EXSEV ®-EX。
與現(xiàn)行品相比辟劲，它進(jìn)一步降低了塵量臣疑，具備優(yōu)異性能的同時(shí)符合環(huán)境法規(guī)，為減輕半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)環(huán)境的負(fù)荷做出了廣泛貢獻(xiàn)徙菠。
【圖1發(fā)塵量比】
※圖1 本公司對(duì)比
② NEW Clean Pro ®-PR (真空·凈化用特殊氟固體潤(rùn)滑被膜軸承)
在高度凈化環(huán)境中讯沈，使用涂有特殊氟高分子膜的新凈化軸承。與現(xiàn)行品相比婿奔，釋放氣體相同缺狠、發(fā)塵量降低一半以上、發(fā)塵壽命※2 (圖2) 為10倍以上萍摊，實(shí)現(xiàn)了軸承性能的大幅度提高挤茄，對(duì)提高制造裝置可靠性以及運(yùn)行成本的降低做出了貢獻(xiàn)。
※2發(fā)塵壽命：一定時(shí)間內(nèi)的發(fā)塵量超過(guò)清潔等級(jí)10 (ISO等級(jí)4) 為止的時(shí)間
參考URL:https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/
【圖2 發(fā)塵壽命】
※NEW Clean Pro ®是株式會(huì)社捷太格特的注冊(cè)商標(biāo)冰木。
③ EXSEV ®-XT (高溫用含氟潤(rùn)滑脂的軸承)
加入了能在350°C高溫環(huán)境下使用的潤(rùn)滑脂的耐熱軸承穷劈。在300°C的溫度里，捷太格特實(shí)現(xiàn)了比現(xiàn)行高溫用固體潤(rùn)滑軸承高達(dá)6倍以上的軸承壽命(圖3) 踊沸。通過(guò)在高溫下延長(zhǎng)使用壽命歇终，對(duì)降低設(shè)備的維護(hù)成本做出了貢獻(xiàn)。
【圖3燒結(jié)壽命比】
④ 耐腐蝕陶瓷軸承
在某些制造工序中逼龟，存在即使是不銹鋼也無(wú)法應(yīng)對(duì)的腐蝕性極強(qiáng)的環(huán)境评凝。而在軌道輪和滾珠上使用陶瓷材料的耐腐蝕陶瓷軸承可以對(duì)應(yīng)此種環(huán)境。捷太格特通過(guò)提供各種陶瓷軸承產(chǎn)品陣容以應(yīng)對(duì)多種腐蝕環(huán)境秦代，為提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率做出貢獻(xiàn)潦号。
【陶瓷軸承】
【圖4陶瓷的適用范圍概念圖】
*EXSEV ®軸承系列其他產(chǎn)品介紹
https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/
捷太格特的軸承事業(yè)品牌“Koyo”，以“Key of your operation”為理念蚯景，作為與客戶共同解決問(wèn)題昭怕、把喜悅提供給客戶的合作伙伴袱族，將為客戶提供適應(yīng)多種環(huán)境的軸承、為所有產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展做出貢獻(xiàn)裙都。
通過(guò)開發(fā)新產(chǎn)品有助于實(shí)現(xiàn)的聯(lián)合國(guó)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)SDGs
*此產(chǎn)品暫未在中國(guó)地區(qū)發(fā)售。
